【提要】 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了供操作靜電放電敏感電子產(chǎn)品用的防靜電工作區(qū)應(yīng)具備的各項(xiàng)技術(shù)要求。

1 范圍

1．1主題內(nèi)容

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了供操作靜電放電敏感電子產(chǎn)品用的防靜電工作區(qū)應(yīng)具備的各項(xiàng)技術(shù)要求。

1．2適用范圍

本標(biāo)準(zhǔn)適用于防靜電工作區(qū)。

1．3應(yīng)用指南

由于電子產(chǎn)品的靜電放電敏感度不同和防靜電工作區(qū)具體用途以及結(jié)構(gòu)形式的差異，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的內(nèi)容和要求允許剪裁。

1．4分級(jí)

按照防靜電工作區(qū)內(nèi)的指定空間所允許的對(duì)地靜電電位值，將防靜電工作區(qū)分為二級(jí)。

A級(jí)——允許的對(duì)地靜電電位不超過(guò)±100V；

B級(jí)——允許的對(duì)地靜電電位不超過(guò)±1000V；

2 引用文件

GB438——1995 防靜電鞋、導(dǎo)電鞋技術(shù)要求

GB12014——89 防靜電工作服

GJB/Z 25——91 電子設(shè)備和設(shè)施的接地、搭接和屏蔽設(shè)計(jì)指南

GJB1649——93 電子產(chǎn)品防靜電放電控制大綱

SJ/T10694——1996 電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測(cè)試方法

3 定義

3．1術(shù)語(yǔ)

3．1．1防靜電工作區(qū) electrostatic discharge protected area

配備各種防靜電設(shè)備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界和專門標(biāo)記的適于從事靜電防護(hù)操作的場(chǎng)所。

3．1．2操作 handling

在靜電放電敏感電子產(chǎn)品的制造、老化、篩選、檢測(cè)、裝聯(lián)、包裝、貯存、修理和失效分析等過(guò)程中，直接或間接地作用于產(chǎn)品的有效活動(dòng)。

3．1．3 接地 grounding

電子連接到能供給或接受大量電荷的物體（如大地、艦船或運(yùn)載工具外殼等）（見(jiàn)GJB1649第3.1.2條）。

3．1．4 硬接地 hard ground

直接與大地電極作導(dǎo)電性連接的一種接地方式。

3．1．5軟接地 soft ground

通過(guò)一足以限制流過(guò)人體的電流達(dá)到安全值的電阻連接到大地電極的一種接地方式。

3．1．6大地電極 earth electrode

埋于地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體組。它可以是桿狀的、板狀的或網(wǎng)狀的，為接地系統(tǒng)提供接大地的基準(zhǔn)點(diǎn)。

3．1．7 靜電耗散材料 dissipative materials

其表面電阻率等于或大于1x105Ω/ ，但小于1x1012Ω/ ；或何種電阻率等于或大于1x104Ω· cm，但小于1x1011Ω/·cm的材料。

3．1．8導(dǎo)（靜）電材料 （electrostatic）conductive materials

其表面電阻率小于1x105Ω/ 或體積電阻率小于1x104Ω· cm的材料。

3．2 縮寫詞

3．2．1 ESD electrostatic discharge sensitive 靜電放電。

3．2．2 ESDS electrostatic discharge sensitive 靜電放電敏感（的）。

3．2．3 EPA electrostatic discharge protected area 防靜電工作區(qū)。

3．2．4 EBP earth bonding point 接地連接點(diǎn)。

4 一般要求

4．1 靜電放電敏感符號(hào)

靜電放電敏感符號(hào)的式樣、顏色和尺寸以及其簡(jiǎn)化符號(hào)式樣，應(yīng)符合GJB 1469附錄C（補(bǔ)充件）的規(guī)定。

4．2EPA 標(biāo)記符號(hào)

EPA 標(biāo)記符號(hào)式樣如圖1所示，其最小尺寸為300mm × 150mm。標(biāo)記顏色一般采用黃底黑色，應(yīng)避免使用紅色。在圖中*處應(yīng)標(biāo)出級(jí)別代碼（A或B）。

4．3接地連接點(diǎn)符號(hào)EPA 內(nèi)的接地連接點(diǎn)符號(hào)式樣如圖2所示，其尺寸的大小應(yīng)能夠在普通照明條件下用肉眼清楚辨認(rèn)。標(biāo)記顏色一般采用黃底黑色，應(yīng)避免使用紅色。

5 詳細(xì)要求

5．1靜電電位

如無(wú)另外規(guī)定，EPA內(nèi)的靜電電位應(yīng)滿足下列要求，即在任何情況下，在EPA內(nèi)貯存，使用或接受加工的未帶ESD外防護(hù)的ESDS產(chǎn)品周圍300mm空間之內(nèi)任一物體的靜電電位不得超過(guò)該級(jí)EPA允許的對(duì)地靜電電位值。

使用準(zhǔn)確度優(yōu)于±10%的非接觸式靜電伏特計(jì)進(jìn)行測(cè)量。

5．2構(gòu)造形式

EPA的構(gòu)造形式因其具體用途而定。可以是下述場(chǎng)所之一或其組合：

a.一個(gè)操作工作臺(tái)；

b.一個(gè)庫(kù)房；

c.一個(gè)加工操作間；

d.一個(gè)工作機(jī)房；

e.一個(gè)活動(dòng)的或固定的工作站；

f.一個(gè)維修工作現(xiàn)場(chǎng)。

無(wú)論屬于哪一種構(gòu)造形式，它都必須是一個(gè)具有明確劃定邊界（例如，在一寬大的廠房?jī)?nèi)可使用寬度為50mm的黃色警示標(biāo)志線，將防靜電工作區(qū)劃定）的場(chǎng)所，并具有為完成其功能所必需的儀器、設(shè)備和器材。

5．3標(biāo)記

5．3．1EPA 專用標(biāo)記

應(yīng)在EPA入口處附近的明顯位置（例如門的上方或門對(duì)面的壁上）貼有符合4.2條規(guī)定的標(biāo)記，標(biāo)記的尺寸大小與EPA的規(guī)模相稱。

5．3．2 接地標(biāo)記

在EPA內(nèi)設(shè)置的供接地用的連接點(diǎn)，并沒(méi)有做處第4.3條規(guī)定的標(biāo)記。

5．3．3 ESDS產(chǎn)品標(biāo)記

在EPA內(nèi)接受加工、裝聯(lián)或在EPA內(nèi)進(jìn)行包裝、貯存的ESDS產(chǎn)品，在產(chǎn)品和內(nèi)包裝上應(yīng)標(biāo)志符合第4.1條或相應(yīng)的產(chǎn)品規(guī)范規(guī)定的靜電放電敏感符號(hào)標(biāo)記。

5.4 氣候與環(huán)境條件

5.4.1 溫度

EPA 內(nèi)應(yīng)裝設(shè)有溫度調(diào)節(jié)裝置,以維持其室溫在15~35℃的范圍內(nèi).采用準(zhǔn)確度優(yōu)于±0.5℃的溫度計(jì)測(cè)量EPA內(nèi)的濕度,并在每日的同一時(shí)間測(cè)量和記錄一次。

5．4．2 濕度

EPA 內(nèi)應(yīng)裝設(shè)有濕度度調(diào)節(jié)裝置,以維持其室內(nèi)相對(duì)濕度在45%~75%范圍內(nèi)。采用準(zhǔn)確度優(yōu)于±2%的濕度計(jì)測(cè)量EPA內(nèi)的濕度,并在每日的同一時(shí)間測(cè)量和記錄一次。

5．4．3 氣壓

EPA內(nèi)大氣壓力應(yīng)在86~106kpa范圍內(nèi)。不能滿足上述要求時(shí)，應(yīng)采取調(diào)壓措施。

5．4．4靜電消除器

在工作臺(tái)面上方的適當(dāng)部位或其他必要部位，應(yīng)裝設(shè)靜電消除器，以消除未打開(kāi)的包裝件上的靜電荷和在操作過(guò)程中因人體、工具及其他物品相互摩擦在工作上所產(chǎn)生的靜電荷靜電消除器應(yīng)能消除任何一種極性的電荷，并在其有效防護(hù)區(qū)域內(nèi)使靜電位保持在規(guī)定值以內(nèi)，中和能力應(yīng)優(yōu)于±250V/s。

5．4．5 潔凈度（必要時(shí)）

需使用潔凈環(huán)境的EPA加工場(chǎng)所，廠房空氣潔凈級(jí)別按有關(guān)工藝設(shè)計(jì)文件規(guī)定。

5．5接地

EPA 應(yīng)具備滿足其使用功能要求的防靜電接地分系統(tǒng)，并通過(guò)大地電極分系統(tǒng)接到大地。此外，EPA通常還需設(shè)置若干其他接地分系統(tǒng)，例如雷電保護(hù)、故障保護(hù)、信號(hào)、參考等分系統(tǒng)。這些接地分系統(tǒng)的作用、配置、安裝方法接地電阻要求及測(cè)量方法等，參見(jiàn)GJB/Z25第5~9章。

5．5．1防靜電接地分系統(tǒng)

EPA的防靜電接地分系統(tǒng)包括人體防靜電接地、地坪防靜電接地和操作裝置、儀器的防靜電接地等。除個(gè)別指明需采用硬接地者外，一般采用軟接地方式，其接地電阻可由外接電阻、材料內(nèi)固有電阻或它們的組合構(gòu)成。各種防靜電接地的接地電阻要求見(jiàn)5.6條。

5．5．2 接地安裝注意事項(xiàng)

5．5．2．1防靜電接地分系統(tǒng)可利用故障保護(hù)地線或信號(hào)參考地線（直流工作地線）作為接地母線。

5．5．2．2不允許交流線路的走線與直線地線緊貼或平行鋪設(shè)，以防以直流信號(hào)造成干擾。

5．5．2．3各接地分系統(tǒng)的連線之間應(yīng)當(dāng)相互隔離，為此應(yīng)使用帶絕緣外皮的導(dǎo)線。

5．5．2．4各接地干線之間的連接應(yīng)采用釬焊、熔焊或壓力連接件、卡箍等進(jìn)行搭接連接。

5．5．2．5防靜電工具、裝置等接地端子允許使用易于裝拆的各種夾式連接器，例如鱷魚夾、插頭座等，但應(yīng)確保電氣連接可靠。

5．5．2．6防靜電工作臺(tái)和裝置、設(shè)備等的故障保護(hù)地線應(yīng)采用最小截機(jī)積不小于1.25mm2的多股敷塑導(dǎo)線，外皮顏色為黃綠色。

5.6各種器材、用具的靜電性能

5.6.1ESD防護(hù)工作臺(tái)面

除非制造工藝要求需要使用導(dǎo)（靜）電工作臺(tái)面，EPA內(nèi)的ESD防擴(kuò)工作臺(tái)面應(yīng)使用靜電耗散材料制成并接地良好。推薦工作臺(tái)面尺寸為1200mm×600mm。ESD防護(hù)工作臺(tái)面的對(duì)地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻要求見(jiàn)表1。對(duì)地電阻測(cè)量原理按SJ/T10694的圖7，測(cè)量電表的一端接到腕帶接地插孔上，另一個(gè)電極距此0.9m，測(cè)量5個(gè)點(diǎn)（測(cè)量電極以0.9m為半徑的繞接地插孔旋轉(zhuǎn)移動(dòng)），取其平均值。表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻測(cè)量原理按SJ/T106409的圖6a，二測(cè)試電極相距0.9m，共測(cè)量5組數(shù)據(jù)取平均值。測(cè)量時(shí)一個(gè)電極以0.9m的半徑繞固定的電極旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。

表1 EPA 內(nèi)各種器材的靜電性能要求

5.6.2 ESD防護(hù)地板、地墊

除非制造工藝要求需要使用導(dǎo)（靜）電地板，EPA應(yīng)采用靜電耗散地板或地墊并接地良好，其對(duì)地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻的要求見(jiàn)表1。對(duì)地電阻的測(cè)量原理按SJ/T10694的圖5。表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻的測(cè)量原理按SJ/T10694的圖4，每4m2隨機(jī)抽取5點(diǎn)并取中心對(duì)四角4次測(cè)量結(jié)果的平均值，測(cè)量點(diǎn)遺著 板的邊緣不得小于10mm。

5.6.3 ESD防護(hù)腕帶、鞋束（足跟帶）

在ESD防護(hù)工作臺(tái)面的二個(gè)角落上應(yīng)配置供腕帶接地用的插孔（即EBP）二個(gè)，一個(gè)供操作人員使用，另一個(gè)供其他相關(guān)人員使用。

腕帶內(nèi)表面（與手腕的接觸面）對(duì)地電阻應(yīng)符合表1的規(guī)定，其測(cè)量原理及方法按SJ/T10694第6.9.1條。

在腕帶被除數(shù)佩戴情況下，對(duì)地電阻應(yīng)符合表1的規(guī)定，其測(cè)量原理及方法按SJ/T10694第6.9.3條。

供連接腕帶用的腕帶連線，其端對(duì)端之間的電阻應(yīng)符合表1規(guī)定，其測(cè)量原理及方法按SJ/T10694第6.9.2條。

在使用腕帶不方便的情況下，在使用鞋束（足跟帶）進(jìn)行人體防護(hù)接地。鞋束（足跟帶）應(yīng)由靜電耗散材料制作，其系統(tǒng)電阻值應(yīng)符合表1，測(cè)量原理及方法按SJ/T10694第6.10條。

5.6.4  物品存放架、內(nèi)部運(yùn)輸小車（物流車）

應(yīng)能通過(guò)支腳或輪子接地，它與工件接觸的表面應(yīng)由靜電耗散材料制作。對(duì)地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻值應(yīng)符合不1。對(duì)地電阻的測(cè)量原理及方法按SJ/T10694第6.8條。表面臨著點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻的測(cè)量原理及方法近SJ/T10694第6.4.1條。

5.6.5 轉(zhuǎn)容器（箱、盤、盒）其內(nèi)、外表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻應(yīng)符合表1規(guī)定。電阻的測(cè)量原理及方法按SJ/T10694第6.7條。

5.6.6 工作椅

工作椅應(yīng)能通過(guò)支腳或輪接地，在正常操作情況下與人體接觸的表面應(yīng)由耗散材料制作。工作椅的對(duì)地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻值應(yīng)符合表1規(guī)定。對(duì)地電阻的測(cè)量原理及方法按SJ/T10694第6.5.1條。表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻的測(cè)量原理及方法按SJ/T10694第6.5.2條。

5.6.7 電烙鐵

焊頭部位應(yīng)進(jìn)行硬接地，從焊頭到接地系統(tǒng)的電阻應(yīng)不大于2Ω。

5.6.8 工作服

工作服應(yīng)符合GB12014的規(guī)定，其各部分之間應(yīng)存在著電氣連續(xù)性。工作服的設(shè)計(jì)應(yīng)能保持其在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。必要時(shí)，其上應(yīng)設(shè)置專門的接地連接點(diǎn)（見(jiàn)圖3），在穿用過(guò)程中通過(guò)導(dǎo)線接地。工作服的以地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻要求按表1，其測(cè)量原理分別見(jiàn)圖3和圖4。測(cè)量電極為圓柱形，直徑50mm，重量2kg。

5．6．9防靜電鞋、襪

進(jìn)入EPA的人員應(yīng)穿用防靜電鞋。鞋的性能要求應(yīng)符合GB4385的規(guī)定。在穿用狀態(tài)下，鞋、襪對(duì)地電阻值應(yīng)符合表1規(guī)定，測(cè)量原理及方法按SJ/T10694第6.11條。

5.6.10防靜電手套、指套
手套或指南應(yīng)由靜電耗散材料制作，在佩戴情況下其對(duì)地電阻要求就符合表1。對(duì)地電阻的測(cè)量原理按圖5，測(cè)量電極為圓形金屬板，直徑最小20mm，或使用金屬夾子。

5.7 防靜電門

必要時(shí)，門反手應(yīng)能導(dǎo)靜電，例如經(jīng)過(guò)防靜電處理或由靜電耗散材料制作，以便當(dāng)人員進(jìn)入EPA時(shí)通過(guò)手握把手來(lái)消除人體電荷。

5.8 墻壁、天花板

墻壁、天花板應(yīng)選用靜電耗散材料制作。如選用石膏、石灰等材料，只要其摩擦起電電壓不大于該級(jí)EPA允許的對(duì)地靜電電位值（按SJ/T10694第5條方法測(cè)試）是可以的，但不允許使用普通塑料或壁紙。

5.9 技術(shù)管理要求

5.9.1 人員培訓(xùn)

凡與EPA相關(guān)的工作人員，均需經(jīng)過(guò)基本防靜電知識(shí)的培訓(xùn)操作人員應(yīng)掌握各種器具的使用技能和操作規(guī)則與方法。

5.9.2 靜電源控制

凡易于產(chǎn)生摩擦靜電的材料，例如普通塑料、橡膠、合成纖維等，在EPA內(nèi)不準(zhǔn)使用。

5.9.3 包裝

進(jìn)入EPA的元器件或組件，必須使用防護(hù)罩或袋進(jìn)行防靜電包裝（包括非ESDS產(chǎn)品）。即使已被發(fā)現(xiàn)為失效的元器件或組件，以送去修復(fù)或進(jìn)行失效原因分析之前，同樣需要與正常品一樣進(jìn)行防靜電包裝。并且，包裝與拆包裝操作均需在EPA內(nèi)進(jìn)行。

5.9.4 人體防護(hù)

5.9.4.1 凡進(jìn)入EPA的人員必須穿防靜電工作服（見(jiàn)5.6.8條）長(zhǎng)頭發(fā)的人員應(yīng)佩戴由防靜電布料制作的工作帽，以防頭發(fā)與ESDS產(chǎn)品發(fā)生接觸放電。

5.9.4.2 凡與ESDS產(chǎn)品接觸的人員，包括操作人員、工程技術(shù)或管理人員、參見(jiàn)人員等，需佩戴防靜電腕帶（見(jiàn)5.6.3條）并應(yīng)保持其與人體、與接地系統(tǒng)都接觸可靠。當(dāng)使用鞋束（足跟帶）時(shí)（見(jiàn)5.63條），應(yīng)捆扎牢固，保持人體有可靠邊的接地。

5.9.4.3 凡進(jìn)入EPA的人員必須穿防靜電工作鞋（見(jiàn)5.6.9條），并應(yīng)保持與防靜電地板或地墊妥善接觸以泄漏人體靜電荷。

5.9.4.4 必要時(shí)，應(yīng)佩戴防靜電手套或指套進(jìn)行操作（見(jiàn)5.6.10條）。

5.9.4.5 在EPA內(nèi)的人員不準(zhǔn)進(jìn)行與工作無(wú)關(guān)的肢體活動(dòng)。

5.9.5 文件資料防護(hù)

在EPA內(nèi)使用的文件資料，其與別的物體之間或文件自身之間的接觸分離，所產(chǎn)生的靜電位不能大于該EPA所允許的對(duì)地靜電電位值。必要時(shí)，這些文件資料應(yīng)裝在透明防靜電包裝袋內(nèi)。

5.9.6 EPA驗(yàn)收要求

新建成或經(jīng)過(guò)改建而成的EPA，投入使用前應(yīng)經(jīng)過(guò)技術(shù)驗(yàn)收。驗(yàn)收工作由使用單位負(fù)責(zé)人組織相關(guān)部門和人員進(jìn)行。應(yīng)按第5章所列各項(xiàng)要求進(jìn)行檢查或測(cè)量，確認(rèn)其符合規(guī)定要求后方允許投入使用。檢查和測(cè)量的記錄應(yīng)存檔。

5.9.7 EPA維護(hù)與檢查要求

對(duì)EPA各項(xiàng)技術(shù)要求，必須經(jīng)常性地進(jìn)行檢查、監(jiān)測(cè)，以維持其各項(xiàng)性能符合本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。檢查的頻次如表2所示。

注:①當(dāng)配備有廠房潔凈裝置時(shí),潔凈度的測(cè)量頻次和方法按裝置說(shuō)明書或有關(guān)工藝設(shè)計(jì)文件的規(guī)定進(jìn)行.

1) 因氣壓波動(dòng)不大，不要求每日記錄。但對(duì)于流動(dòng)EPA，每當(dāng)移動(dòng)后其地處海拔高度有重大變化時(shí)，應(yīng)記錄氣壓。

2) 靜電消除器中和能力的測(cè)量按其產(chǎn)品規(guī)范中指明的方法進(jìn)行。并應(yīng)選取在最不利的位置處測(cè)量。

6 說(shuō)明事項(xiàng)

6.1 預(yù)定用途

本標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的EPA，適宜作為ESDS電子產(chǎn)品的場(chǎng)所（A級(jí)），也可作為ESDS電子整機(jī)產(chǎn)品機(jī)房（例如程控交換機(jī)房、電子計(jì)算機(jī)機(jī)房、電子設(shè)備方艙等）使用（B級(jí)）。對(duì)于其他ESDS產(chǎn)品（例如火工、醫(yī)藥等）的加工場(chǎng)所可參照使用。

6.2 防靜電器材、物品配置說(shuō)明

EPA內(nèi)各種防靜電器材和物品的種類與數(shù)量的配置，視其具體用途而定，但人體防護(hù)器材必須配備。對(duì)于為完成某一項(xiàng)臨時(shí)性的現(xiàn)場(chǎng)修理任務(wù)，可使用防靜電維修包來(lái)來(lái)創(chuàng)造一個(gè)臨時(shí)性的防靜電工作環(huán)境，包括必備的人體防護(hù)器、良好的接地措施及必要的工具的和包裝器具等。